檢測(cè)導(dǎo)軌直線度的方法
以00級(jí)大理石為基準(zhǔn)面，將工作臺(tái)按照?qǐng)D紙要求固定在大理石上，用打表的方法在00級(jí)大理石方箱進(jìn)行找正，如圖2所示。 依據(jù)表頭指針的的讀數(shù)，導(dǎo)軌在豎直面內(nèi)直線度較好，偏差僅有5μm，但在水平面內(nèi)有來(lái)回?cái)[動(dòng)的趨勢(shì)。相比較而言，誤差在水平面比較敏感。試驗(yàn)中導(dǎo)軌從一極限位置開始，運(yùn)動(dòng)140 mm，導(dǎo)軌在水平面內(nèi)的運(yùn)動(dòng)軌跡如表1和圖3所示。 該測(cè)量?jī)x是依據(jù)鏡頭捕捉被測(cè)工作的位置，由光柵尺讀取所測(cè)工件的長(zhǎng)度。導(dǎo)軌在移動(dòng)過程中呈現(xiàn)往復(fù)擺動(dòng)，進(jìn)而使固定在移動(dòng)滑臺(tái)上的鏡頭往復(fù)擺動(dòng)，會(huì)造成所測(cè)結(jié)果偏大或偏小。試驗(yàn)中選取長(zhǎng)度為80 mm的標(biāo)準(zhǔn)量塊，在不同位置測(cè)量誤差相差一百多微米。